LabHC (Saint-Etienne)

Nanofabrication par lithographie UV

Contact

Laboratoire Hubert Curien

Plateforme NanoSaintEtienne
Bâtiment F
18 Rue du Professeur Benoît Lauras
42000 Saint-Etienne

La plateforme NanoSaintEtienne fait partie du laboratoire Hubert Curien qui développe depuis plus de 20 ans des activités de recherches et innovations sur les interactions lumière-matière, en particulier utilisant des lasers ultrabrefs, que ce soit pour maitriser l’interaction laser-matière ou apporter des fonctionnalités aux surfaces et aux matériaux.

NanoSaintEtienne permet en particulier la structuration et la fonctionnalisation des surfaces. Elle possède tous les outils de lithographie (masquage, lithographie interférentielle, colloïdale et laser) pour la micro et nanostructuration de couches fonctionnelles (résine et sol-gel) sur des grandes surfaces et des surfaces complexes, avec des moyens de dépôts et de caractérisations (optique, microscopique et spectroscopique).

Équipements ouverts à l’accueil dans le cadre de LUMA

Lithographie interférentielle

3 bancs

4 pouces, CD mini =125 nm, Lasers CW @442nm, 355 nm

Lithographie Laser directe

Kloé DILASE 750)

Substrats 400 mm, CD =2 µm

Lithographie Colloïdale

Dépôt Langmuir Blodgett

Procédé Sol-gel

Composite (base TiO₂, SiO₂), NP métalliques, magnétiques

Nitruration (TiN ; ZrN)

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_{^{INFRASTRUCTURE}}
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